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層流式質(zhì)量流量計(jì)

層流式質(zhì)量流量計(jì)是一種基于哈根泊肅葉定律原理設(shè)計(jì)的精密流量測(cè)量?jī)x器。
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產(chǎn)品介紹
層流式質(zhì)量流量計(jì)原理：
層流式質(zhì)量流量計(jì)的工作原理是基于哈根-泊肅葉定律（Hagen-Poiseuille Law）該定律指出，在溫度、管徑等參數(shù)一定的情況下，圓管內(nèi)的不可壓縮流體在層流狀態(tài)下流動(dòng)時(shí)，其體積流量與管道兩端的壓降呈線性關(guān)系。通過讀取層流元件兩端的壓差信號(hào)，從而計(jì)算出體積流量，再對(duì)該體積流量進(jìn)行壓力和溫度修正，從而獲得標(biāo)準(zhǔn)的體積流量和質(zhì)量流量數(shù)值。
層流式質(zhì)量流量計(jì)原理
層流式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量：
具體來說，層流式質(zhì)量流量計(jì)由層流元件和差壓傳感器組成3。在層流元件中，流體以層狀運(yùn)動(dòng)，即每個(gè)質(zhì)點(diǎn)沿著與管軸平行的方向作平滑直線運(yùn)動(dòng)1。差壓傳感器測(cè)量層流元件兩端的壓差信號(hào)，這個(gè)信號(hào)與流體體積流量成正比3。通過這個(gè)壓差信號(hào)，可以計(jì)算出流體的體積流量，并進(jìn)一步進(jìn)行壓力和溫度修正，以得到標(biāo)準(zhǔn)體積流量和質(zhì)量流量圖1。
層流式質(zhì)量流量計(jì)原理
層流式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)勢(shì)解析：
高精度：由于層流狀態(tài)下流體參數(shù)的規(guī)律性，層流差壓式質(zhì)量流量計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的流量測(cè)量。其測(cè)量精度通常優(yōu)于傳統(tǒng)壓差式流量計(jì)，特別是在微小流量和低壓流體的測(cè)量中表現(xiàn)尤為突出。
快速響應(yīng)：層流差壓式質(zhì)量流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間非?？?，這主要得益于層流元件兩端壓差信號(hào)的快速獲取。壓力波的傳播速度（即聲波速度）決定了壓差信號(hào)的獲取速度，從而確保了流量計(jì)的快速響應(yīng)能力。
高重復(fù)性：流體的層流狀態(tài)具有的穩(wěn)定性，這使得層流差壓式質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量結(jié)果具有很高的重復(fù)性。在常規(guī)環(huán)境中，氣體通常呈湍流狀態(tài)運(yùn)動(dòng)，而層流差壓式流量計(jì)通過層流元件使氣體保持層流狀態(tài)，從而提高了測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
層流式質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量
層流式質(zhì)量流量計(jì)的注意事項(xiàng)：
需要注意的是，層流式質(zhì)量流量計(jì)必須在確保流體在層流狀態(tài)下流動(dòng)，才能維持體積流量與壓差之間的線性關(guān)系，從而確保測(cè)量的高精度。
層流式質(zhì)量流量計(jì)的應(yīng)用：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路工業(yè)、特種材料、化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中常用的CVD、Diffusion工藝，均是通過層流式質(zhì)量流量計(jì)來精確地控制產(chǎn)品的鍍膜和摻雜質(zhì)量。另外，刻蝕等工藝過程也大量使用到MFC來控制工藝質(zhì)量。
眾所周知，半導(dǎo)體行業(yè)的原材料成本非常高昂，工藝非常復(fù)雜，因此對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量的控制就顯得尤為重要。對(duì)在半導(dǎo)體行業(yè)廣泛使用的MFM/MFC進(jìn)行周期性校準(zhǔn)，是保證了MFM/MFC長(zhǎng)期穩(wěn)定工作的有效方法。
綜上所述，層流式質(zhì)量流量計(jì)是以其高精度、快速響應(yīng)、高重復(fù)性和多氣體適應(yīng)性等優(yōu)勢(shì)，在各行各業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。其使用從而改善了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，降低生產(chǎn)成本，以及增強(qiáng)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。
產(chǎn)品標(biāo)簽：
層流式質(zhì)量流量計(jì)
熱式流量計(jì)